activedamper有源阻尼器
activeload有能源负载，主动负载
activematerial放射性材料
activeregion活性区
active-passivemetal活性-钝态金属
active-passivetransition活性-钝态转变
activity1活性度2活性量
activitycoefficient活性系数
activityindex活性指数
actualwaferthickness晶圆实际厚度
adapterbrick楔砖陶
adaptivecontroller/automaticthicknesscontroller自适控制器/自动厚度控制器
adaptiveZfunctionZ轴上承载压自动调整功能
adaptor接头
additionagent添日剂
additive添加剂
addressmultiplexfunction位址多工功能
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